Высокая производительность по измерению малых значений тока/напряжения с разрешением от долей фемтоампер и микровольт
Модули источников/измерителей (SMU) являются основными измерительными модулями для параметрического анализатора полупроводниковых приборов B1500A. Модули SMU сочетают в себе функции источника тока/напряжения и измерительные возможности, что позволяет выполнять точные измерения постоянного тока и напряжения с разрешением от единиц фемтоампер и долей микровольт. Если требуются более высокие характеристики, то возможности по измерению малых токов могут быть расширены до суб-фемтоамперного уровня за счет использования дополнительного модуля коммутатора и измерителя аттоамперных токов ASU.
Модули источников/измерителей SMU могут использоваться для измерения квазистатических вольт-фарадных характеристик (ВФХ). Этот метод позволяет получать ВФХ устройств как на низких, так и на высоких частотах, а также является эффективным инструментом для исследования поверхностных состояний затворов транзисторов. Анализатор полупроводниковых приборов B1500A обеспечивает точные измерения квазистатических ВФХ с компенсацией тока утечки.
В сочетании с возможностями программного обеспечения EasyEXPERT по управлению и анализу данных эти модули являются мощным и полезным инструментом для определения характеристик полупроводниковых приборов, наноустройств, например, углеродных нанотрубок (CNT) и нанопроводников (CNW), активных/пассивных компонентов, материалов и любых других электронных устройств, для которых требуются прецизионные измерения тока и напряжения.
Точное определение динамических характеристик, включая импульсные измерения и измерения с выборкой по времени, путем прецизионного контроля временных параметров с аппаратной синхронизацией
Помимо измерений постоянного тока/напряжения, модули источников/измерителей анализатора B1500A обеспечивают расширенные возможности по динамическим измерениям, например, импульсные измерения и измерения с выборкой по времени. Импульсные измерения и измерения с выборкой по времени являются эффективным средством выявления и фиксации динамических характеристик, при этом особую важность приобретает высокая точность измерения временных параметров. Точность измерений с помощью модулей источников/измерителей анализатора B1500A обеспечивается за счет прецизионного контроля временных параметров с аппаратной синхронизацией. Минимальный период выборки составляет 100 мкс, а минимальная длительность импульса — 500 мкс.
С анализатором полупроводниковых приборов Keysight B1500A может использоваться три типа модулей источников/измерителей, которые соответствуют различным потребностям тестирования.
| Модель SMU | Основные возможности и характеристики |
|---|---|
| B1510A, модуль источника/измерителя большой мощности (HPSMU) |
|
| B1511B, модуль источника/измерителя средней мощности (MPSMU) |
|
| B1517A, модуль источника/измерителя с высоким разрешением (HRSMU) |
|
Абсолютная уверенность в результатах измерений постоянного тока/напряжения и динамических измерений
- Функции 4-квадрантного источника и возможности по точному измерению тока/напряжения от единиц фемтоампер
- Диапазон измерений: от 0,1 фА до 1 А, от 0,5 мкВ до 200 В
- Возможности измерений: точечное, свипирование, импульсные измерения, измерения с выборкой по времени
- Минимальный период выборки при измерениях: 100 мкс
- Минимальная длительность импульса: 500 мкс
- Измерение квазистатических вольт-фарадных характеристик с компенсацией тока утечки
